Система для дефектовки полупроводниковых подложек
Точность теста: 7 мкм
Размер пластины: стандартный 4", 6" (расширяемый 4" – 8")
Производительность: 120 – 140 подложек в час
В интернет-магазине СТАНКИТ вы можете купить высокоточную лазерную систему для обнаружения дефектов полупроводниковых подложек HGTECH Defect Detection Series.
Особенности
- Подложки сканируются и анализируются с помощью многоканальной параллельной системы обнаружения в светлом и темном поле, разработанной инженерами HGTECH.
- Высокая скорость обнаружения – на анализ одной пластины в среднем уходит 180 секунд.
- Благодаря высокому разрешению системы (1 – 10 мкм), анализ пластин выполняется с высокой точностью.
- Оборудование используется для исследования полупроводникового сырья, пластин и подложек (в том числе эпитаксиальных и с рисунком) величиной от 4 до 8 дюймов.
- Оборудование обнаруживает такие дефекты, как царапины, трещины, неровности, пятна и т. д.
- Станок разработан и произведен компанией HGTECH – одним из крупнейших в Китае поставщиков лазерной техники.
Наши специалисты ответят на все интересующие вопросы о характеристиках и цене лазерной установки HGTECH Defect Detection Series, а также помогут вам заказать этот товар.
Чтобы приобрести HGTECH Defect Detection Series, необходимо его заказать. Есть несколько сценариев того, как это можно сделать.
- Выбор оборудования. Вместе с нашим специалистом вы подбираете оборудование и уточняете необходимые параметры комплектации станка.
- Заключение договора. Обсуждаем комплектацию оборудования и окончательно рассчитываем его стоимость.
- Оплата. При покупке оборудования со склада производится 100% оплата. При заказе оборудования «под заказ» — аванс 50%, остальная сумма оплачивается после прибытия станка на наш склад.
- Трехэтапная проверка качества. Все оборудование проходит три стадии проверки: на производстве в Китае, на складе в России и перед отправкой покупателю.
- Доставка или самовывоз. Мы доставляем оборудование по всей России и СНГ, гарантируя конкурентоспособные цены на доставку. Также доступен самовывоз.
Мы работаем с физическими и юридическими лицами. И предоставляем сразу два варианта оплаты.
- Наличные. Вы подписываете товаросопроводительные документы, расплачиваетесь денежными средствами, получаете товар и чек.
- Безналичный расчет. Менеджер пришлет договор и счет для оплаты.
Доставляем товары по РФ
Доставка тяжелых станков это специфическая логистическая задача. Нужно обеспечить его сохранность, застраховать от возможных повреждений, грамотно загрузить и разгрузить транспортное средство.
Наш логист имеет большой опыт в доставке крупногабаритных тяжелых станков.
Мы готовы самостоятельно доставить оборудование на вашу производственную площадку.
Однако, если вам удобнее самостоятельно забрать приобретенное оборудование, у вас не будет проблем.
Порядок доставки
| Размер пластины | Стандартный 4", 6" (расширяемый 4" – 8") |
| Количество боксов | Двухэтажные, 14 шт. |
| Метод загрузки и разгрузки | Робот, картографическое сканирование |
| Движущаяся платформа | Ход по оси Y – 350 мм, повторяемость 10 мкм Ход по оси Z – 8 мм, повторяемость 5 мкм |
| Производительность | 4" – 140 пластин в час 6" – 120 пластин в час |
| Точность теста | 7 мкм |
| Камера | Промышленная камера высокого разрешения |
| Объектив | Промышленный HD-объектив |
| Источник света | Запатентованный источник света |
| Спецификация источника питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
| Требования к источнику воздуха | Сжатый воздух 0,5 – 0,7 МПа, без видимых водяных паров и жиров |
| Условия окружающей среды | Температура 15°C – 40°C, влажность 30% – 70% (без инея) |
| Габаритные размеры | 1800x1300x2250 мм |
